一、領(lǐng)域： 八、先進制造與自動化--（三）高性能、智能化儀器儀表
二、主要研發(fā)內(nèi)容
（一）大功率微波傳輸通道及微波諧振腔模擬建模；
（二）大功率微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）設(shè)備的微波系統(tǒng)設(shè)計及實現(xiàn)；
（三）大功率MPCVD設(shè)備的散熱系統(tǒng)設(shè)計及實現(xiàn)；
（四）大面積多晶金剛石膜沉積工藝研發(fā)。
三、項目考核指標（項目執(zhí)行期內(nèi)）
（一）經(jīng)濟指標：實現(xiàn)銷售收入≥1000萬元。
（二）學術(shù)指標：申請專利≥2件，其中發(fā)明專利≥1件。
（三）技術(shù)指標：
1. 微波源頻率： MHz，功率≥ kW，設(shè)備連續(xù)無故障運行時間≥ 天；
2. 制備自支撐金剛石厚膜，最大樣品尺寸≥ 英寸，膜厚≥ mm；
3. 制備大尺寸光學級金剛石窗口，最大樣品尺寸≥ 英寸，在500cm-1~4000cm-1紅外波段范圍內(nèi)透過率≥ %。
四、項目實施期限： 2年

五、資助金額： 不超過200萬元

受理時間：2020年9月27日-2020年10月26日（截止24:00）。